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射频探针早于1980年,在此之前,由于没有一种能够在安装或贴合状态下对单片微波集成电路(MMIC)装置进行测试的简便方法,因此测试过程常常使得电路完整性遭到破坏,引发系统干扰或降低电力负载。早期的RF探针使用的是共面陶瓷材料,而陶瓷不能太弯曲,因而压触的弹性范围并不大,同时支持的射频频率也较低,个探针仅覆盖到18 GHz