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半导体生产过程要包括晶圆制造和封装测试,在这两个环节中要完成晶圆检测(CP,circuit probing)和成品测试(FT,Final Test)两个检测步骤。
其中(1)晶圆检测是指通过探针台和测试机配合使用,对晶圆上的裸芯片进行功能检测和电参数测试,其检测过程为:探针台将晶圆逐片自动传送至测试位置,将芯片的pad点通过探针/专用连接线与测试机的功能模块进行连接,测试机对芯片世家输入信号并采集输出信号,判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求。测试结果通过通信接口传送给探针台。
(2)成品测试环节是指通过分选机和测试机配合使用,对封装完成后的芯片进行功能和电参数测试,其测试过程为:分选机将被测芯片逐个传送至测试工位,被测芯片的引脚通过测试工位上的基座,专用连接线与测试机的功能模块进行连接,测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号,判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求。测试结果通过通信接口传送给分选机,分选机据此对被测芯片进行标记、分选、收料或编带。